12인치 올림푸스 웨이퍼 검사 시스템의 주요 특징:

● 견고하고 신뢰할 수 있으며 안전한 전송

12인치 올림푸스 웨이퍼 검사 시스템은 이전 세대 모델의 견고성, 신뢰성, 안전성을 이어가며 300mm 웨이퍼를 안전하고 안정적으로 전송할 수 있으며 얇은 조각, Warped 웨이퍼도 안전하게 운반할 수 있다.

● 인간공학적 설계로 조작이 편리하다

12인치 올림푸스 웨이퍼 검사 시스템은 자유롭게 설치할 수 있는 검사 모드로 설계상 후도 공정에서의 조작성을 고려했으며 특히 설비의 조작 간편성을 중시했다.FOUP(Load Port) 및 FOSB의 두 모델에 해당합니다.

12인치 올림푸스 웨이퍼 검사 시스템의 거시적 관찰 위치의 최적화와 조작 단위의 집중 배열은 설비의 조작성을 향상시켰다.

자동 300mm 웨이퍼 검사 시스템 AL120-12 기술 사양