현재 AWL 시리즈 웨이퍼 운반기는 AWL046, AWL068 두 가지 기종을 보유하고 있으며, 각각 4/6인치 웨이퍼 검사, 6/8인치 웨이퍼 검사에 적합하며, 그 적응 범위가 넓고, 유연하며, 자유롭게 설정할 수 있는 검사 모드를 배합하여 인간공학 설계에 충분히 부합하고, 조작이 편안하고 간편하다.

AWL 시리즈웨이퍼 검사 시스템의 이점

● 360° 매크로 체크

AWL 시리즈 웨이퍼 검사 시스템은 거시적 검사 팔을 갖추고 있어 웨이퍼 거시적 검사, 웨이퍼 거시적 검사 1의 360 ° 회전을 실현할 수 있어 상처와 미세먼지를 더욱 쉽게 발견할 수 있다.조작대를 통해 마음대로 웨이퍼를 기울여 관찰할 수 있다.결정면 기울기 각도 ≤ 70 °, 결정면 1 기울기 각도 ≤ 90 °, 결정면 2 기울기 각도 ≤ 160 °, 회전 기능, 기울기 각도를 이용하여 전체 결정의 정반대편 및 가장자리를 충분히 눈으로 검사할 수 있다.

● 인간공학적 설계

웨이퍼 검사 시스템의 LCD 디스플레이는 조작자에게 더욱 직관적인 시각적 경험을 제공할 수 있으며, 현재 검사 항목과 순서를 선명하게 표시할 수 있으며, 디버깅 매개변수를 한눈에 볼 수 있다.

웨이퍼 검사 시스템의 수동으로 진공 적재대를 빠르게 방출하면 조작자의 편안함과 작업 효율을 높일 수 있다.

웨이퍼 결함 검사 응용 사례

AWL 시리즈웨이퍼 검사 시스템 기술 사양