개요

반도체 제조 공장, 나노 기술 센터, 나노 공장 및 기타 정밀 제조 및 연구 센터는 일반적으로 복잡한 시설 요구 사항 (배관, 케이블, 가스 배관 등) 과 엄격한 청소 기준을 유지하기 위해 클린룸과 활성 가짜 지상 시스템을 결합합니다.이런 지면은 진동에 민감한 생산, 검측 및 계량 설비에 적용되지 않는다.활성 바닥은 이러한 도구에 필요한 조용한 진동 환경을 제공하지 못합니다.TMC의 Quiet Island는 일부 활성 지상 영역을 아래 바닥 바닥에 고정된'조용한 섬'으로 교체하여 혁신적인 솔루션을 제공합니다.Quiet Island에는 클린룸과 호환되는 플랫폼 상단과 애플리케이션 및 현장별 지원 구조가 포함되어 있습니다.

소진

Quiet Island**의 주요 지원 컴포넌트와 핵심 기술은 STACIS III 액티브 소진 시스템에 통합되어 있습니다.이 "강성" 관성 소진 지원 시스템은 모든 진동 민감 측정 장치에 이상적이며 시끄러운 환경에서 * * 높은 표준으로 작동 할 수 있습니다.STACIS III는 자동화된 웨이퍼 가공 도구, 고해상도 전자빔 이미징 도구, 이온 빔 밀링 도구 및 패시브 또는 액티브 내부 방진 시스템이 있는 모든 도구와 호환됩니다(액티브 방진기에 액티브 방진기를 계층화하는 백서 참조).또한 * * 넓은 주파수 범위에서 * * 진동 차단 기능을 제공합니다.또한 하드 마운트는 매우 단단하게 설계되어 있어 위쪽 또는 아래쪽 가벼운 도구의 경우 안정성에 문제가 없습니다.

스탠드 및 스탠드

STACIS 방진기를 지지하는 매우 견고하고 내구성이 강한 입관은 TMC의 숙련된 엔지니어링 팀이 설계했으며 ISO 9001 공장에서 높은 표준과 용접 인증 규격에 따라 제조되었습니다.각 Quiet Island는 다양한 활성 바닥 높이, 기본 바닥 기하학적 형태 및 도구 크기에 맞게 설계되었습니다.전 세계에 200개 이상의 다양한 기기 모델을 지원하는 수천 개의 장치를 설치한 TMC는 STACIS와 고객의 시설 요구를 충족하는 지지 구조를 설계할 수 있는 풍부한 지식과 경험을 보유하고 있습니다.

강성 플랫폼

이 플랫폼은 TMC의 설계와 제조를 거친 4인치 (100mm) 두께의 강판 메자닌으로 구성되어 있으며, 그 중 강판은 가볍고 압축할 수 없으며 댐핑되는 코어 재료 주위에 끼어 있다.강성 강판과 코어는 에폭시 수지로 빈틈없는 스테인리스 강판에 접착하는 계층화 효과로 매우 높은 강도와 구조적 저항을 제공한다.큰 횡단면과 강철 함량은 전체 강도를 매우 높게 생성합니다.상단과 측면은 깨끗하고 아름답고 무결성을 유지하는 일체형 스테인리스 스틸 케이스입니다.TMC는 컷, 특수 모양, 고정 구멍 및 루프 볼트를 포함하여 용도에 맞게 특별히 지정된 플랫폼을 설계 및 제조할 수 있습니다.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Quiet Island의 이점

STACIS - TMC 업계 **의 액티브 압전 소진 기술, 하드 마운트 설계 및 0.6Hz에서 시작하는 방진은 내장 방진기의 도구와 호환됩니다.

모듈식, 사용자 정의 및 재배치의 유연성 - 각 플랫폼은 고객의 애플리케이션에 따라 맞춤형으로 제작되지만 콘크리트 플랫폼과 달리 도구나 바닥 특성이 변경되면 쉽게 재배치할 수 있습니다.

전문 지식 - TMC는 **의 반도체 제조업체, 과학 연구 기관 및 초정밀 OEM과 협력한 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.우리는 고객과 그 수요를 이해한다.우리는 스스로 설계하고 제조한다.

성능

24형 두께, 40형 x 60형 Quiet Island, 4개의 STACIS 스탠드,
지상에서 VC-C 를 입력하여 전송률 측정

사양

성능 사양

진동 차단기 설계, 크기, 환경 및 성능 요구 사항

DC-2020 디렉터 사양

기타 매개변수

기타Quiet Island 구성

환경 진동 규격이 없는 대형 기기는 일반적으로 움직이는 지면과 분리된 강성하고 안정적인 지지대가 필요하다.강성 Quiet Island는 이상적인 솔루션입니다.강성 Quiet Island는 동일한 고성능 플랫폼 상단을 가지고 있으며 높이, 바닥 기하학적 모양의 활성 바닥 청소실 및 다양한 도구 크기에 맞게 설계할 수 있습니다.TMC는 다양한 요구 사항을 충족하는 다양한 유형의 기둥을 제공하여 계측기 및 공장별 모듈식 유연한 재배치 및 업그레이드 솔루션을 제공합니다.

사진 적용

Quiet Island에 설치되어 있기 때문에®기본 지상 플랫폼의 장치의 복잡성, 민감성 및 가치, 주문용 표준 카탈로그를 만들지 않았습니다.호.

특정 애플리케이션을 위해 각 플랫폼을 맞춤형으로 설계해야 한다고 생각합니다.권장되는 주문 단계는 다음과 같습니다.

▪ 격리할 장비나 기기를 알려 주세요.수천 개의 기기를 설치했기 때문에 어플리케이션 요구 사항을 충족하는 플랫폼 설계가 있을 수 있습니다.또한 스텝 프로파일러, 조준기, SEM 및 기타 공구 제조업체와 긴밀한 관계를 유지하고 있으므로 **의 새로운 크기, 모양, 무게 변화 및 바닥 진동 사양을 이해하고 있습니다.

▪ 또는 활성 지상 그리드 시스템에 적합한 플랫폼을 원할 수도 있습니다.일반적으로 고객은 짝수 타일을 교체하기 위해 47 x 47 인치 (1190 x 1190mm) 의 플랫폼을 선택합니다.

▪ 당신의 활동 지면이 견고한 하층 지면의 높이보다 높다는 것을 우리에게 알려 주십시오.

▪ 아래쪽 바닥이나 강철 빔 / 격자판 기하학적 모양의 구멍 패턴을 보여 주는 그림을 설명하거나 제공해 주십시오.

▪ 지면 진동 데이터를 제공하거나 측정 스케줄을 지정하는 방법에 대해 논의해 주십시오.

▪ 기기의 진동 감도를 고려하다.우리의 강성, 비공명 기둥 설계는 많은 공구에 충분한 지지를 제공했다.더욱 민감한 응용은 공기나 압전 지지가 필요할 것이다