PfeifferLOW-E(저방사 유리) 생산 라인에서 분자 펌프의 응용
LOW-E의 전체 이름은 Low emissivity이며 저방사 도금 유리입니다.열반사 유리에 비해 신형 에너지 절약 유리이다.현재 국제적으로 보편적으로 진공 자기 제어 사출 도금 기술 (오프라인법) 을 사용하여 Low-E 유리를 생산한다.버둥사에서 판매하는 독일 푸파 Pfeiffer분자 펌프에 성공적으로 적용되었습니다.

원리: 유리는 선반에 수직으로 놓여 10-1파스칼의 수량급의 진공환경에 보내져 적당량의 공정기체 (타성기체 Ar 또는 반응기체 O2, N2) 를 통하게 하고 진공도를 안정적으로 유지한다.표적 재료인 Ag, Si 등을 음극에 내장하고 음극과 수직인 수평 방향으로 자기장에 넣어 자기 제어 표적을 구성한다.자기 제어 표적을 음극으로 하고 직류 또는 교류 전원을 더하면 고전압의 작용하에 공예 기체에 이온화가 발생하여 플라스마를 형성한다.그중 전자는 전장과 자기장의 공동작용하에 고속나선운동을 진행하고 기체분자를 충돌시켜 더욱 많은 양이온과 전자를 산생한다.양이온은 전장의 작용하에 일정한 에네르기에 도달한후 음극표적재에 부딪치고 튀겨진 표적재는 유리기판에 퇴적되여 박막을 형성한다.균일하게 일치하는 막층을 형성하기 위해 음극 표적은 유리 표면에 가까워 왔다갔다한다.다층막을 얻기 위해서는 반드시 여러 음극을 사용해야 하며 매 음극은 모두 유리표면에서 왔다갔다하면서 일정한 막두께를 형성한다.

독일 PFEIFFER는 120 년 이상의 진공 제조 경험과 전 세계적인 애프터서비스 및 기술 지원으로 LOW-E 시장 고객들의 사랑을 받고 있습니다. 독일 폰.아데나 (VON ARDENNE) 는 가장 일반적인 고객입니다.PFEIFFER분자 펌프의 LOE-E 생산 라인은 신의유리, 남보 등 중국 유리 제조 거두에 사용된다.
Pfeiffer분자 펌프이점:

• 고객이 선택할 수 있는 멀티 스핀들 속도: 1000~2000L/S
• H의 경우₂,He 및 Ar, CF₄스피드가 높습니다.
• 설치 위치 0~90도, 90~180도
• 높은 가스 유통량, Ar, CF라도₄
• 내장형 TC 1200 드라이버로 직접 전원 연결 가능
• 부식 방지 능력 선택 가능
• 다양한 인터페이스 인터페이스: RS-485 및 원격 제어profibus 또는 Devicenet 선택 가능
• IP 54 및 Semi S2 등급 보유
• 안정적이고 안전한 로터 베어링 시스템
• UL, CSA 및 TUV 인증 준수
• 간편한 설치