URE-2000/17형 자외선 심도 광각기 기술 특징:
쌍안 쌍시장 현미경으로 조준한다.볼볼은 평평하게 조절하고 단편기 제어, 터치 스위치로 조작이 편리하고 실용성이 강하다.

1. 기술 매개변수

l노출 영역:4인치

l노출 파장:365nm

l분별력:1.5mm(접착제 두께2 mm의 양접착제)

l정밀도 맞추기:±1mm

l마스크 견본의 전체 동작 범위:X：15mm;Y:15mm

l마스크 크기:2.5인치,3인치,4인치,5인치

l견본 크기: 지름f15mm--f100mm

두께0.1mm--6mm(확장 가능15mm)

l노출 방식: 타이밍 (카운트다운) 및 정량

l조명 불균일성: 5%（f100mm범위)

l두 눈 두 시야 조준 현미경: 안경을 통과할 수 있음눈으로 보다조준해도 통과할 수 있다CCD+모니터 조준, 광학 합상, 광학 최대 배수400배, 광학+전자 증폭800배

물경 3쌍:4배,10배,20배

접안렌즈 3쌍:10배,16배,20배

l샘플을 기준으로 마스크 동작 스트로크:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6도

l수은 램프 전력:200W(직류)

l노출 에너지 밀도:6mW/cm

2. 폼 팩터 크기:650mm(길이)?600mm(폭)?900mm(높음)

3. 구성

（1) 노출 헤드

l200W수입 직류 고압 수은등(독일 오스란)

lXYZ수은등 조절대

l광학 시스템

l냉각팬

（2) 가공소재 테이블 조준

l마스크 견본 전체 운동대

l마스크 견본 상대 운동대

l회전대

l스플라인 메커니즘,수동

l샘플 초점 조절 메커니즘, 수동

l승편대3개 (f50mm、?75mm、?100mm）

l마스크 클립4개 (2.5인치,3인치,4인치,5인치)

l마스크 추출식 상하 기구

（3) 현미경 조준

l라이트 (준비물2만), 전원 공급 장치

l두 눈, 두 시야가 현미경 주체를 조준하다.

l안경3예 (10배,16배,20배, 총6개)

l물경3예 (4배,10배,20배, 총6개)

lCCD대만

l21인치 평면 패널 모니터

（4) 전기 제어 시스템

l수은등 트리거 전원(200W직류 수은등)

l단편기 제어 시스템

l제어 섀시

（5) 공기압 시스템

l실린더, 전자기 밸브, 감압 밸브, 공기압 스위치 등

l솔레노이드 밸브 구동

l공기계

（6) 추가 첨부 파일

l진공 펌프 한 대

l파이프

（7) 기술 자료

l사용 수리 설명서

l현미경 사용 설명서