1. 기술적 특징

l고배율 쌍안 쌍시장 현미경과22와이드스크린 평면 패널 디스플레이를 통해 정확한 프로세스 확인 및 제공USB내보내기고정밀 조준을 충족하고 노출 결과를 감지하는 데 사용할 수 있으며 노출 결과 및 저장 편의성

l역방향 조명으로 수은 램프 교체, 발열 및 누광 방지 기능 향상

l비트 및 노출 비트 쌍방향 작업, 쌍방향 자동 전환

l내장형 컴퓨터 사용+터치스크린 조작으로 더욱 편리하고 세련된 조작

l상하편, 판은 매우 편리하고 자동화 정도가 높으며 조작이 간편하다.대학교 교육 과학 연구 (신뢰성이 좋고 프레젠테이션이 편리하다) 및 공장(효율성)특히 적합하다

2. 기술 매개변수

l노출 영역:100mm×100mm(업그레이드 가능6인치)

l노출 파장:365nm

l분별력:≤1mm(접착제 두께1.5 mm의 양접착제)

l정밀도 맞추기:±0.6mm

l현미경 스캐너 동작 범위:X：10mm;Y:10mm

l마스크 크기:2.5인치,3인치,4인치,5인치

l견본 크기: 지름f15mm--f100mm(각종 불규칙 슬라이스)

두께0.1mm--6mm

l노출 방식: 타이밍 (카운트다운) 및 정량

l진공 접촉 노출, 하드 접촉 노출빛, 압력 접촉 노출, 접근식 노출 등 4가지 기능

l조명 불균일성: 3%（f100mm범위)

l두 눈 두 시야 조준 현미경: 안경을 통과할 수 있음눈으로 보다조준해도 통과할 수 있다CCD+모니터 조준, 광학 합상, 광학 최대 배수400배, 광학+전자 증폭800배

물경 3쌍:4배,10배,20배

접안렌즈 3쌍:10배,16배,20배

l접촉 압력 조절 센서를 통한 반복 보장

l숫자 맞춤 간격 및 간격 설정

l압인 모듈 인터페이스 및 근접 모듈 인터페이스

l샘플을 기준으로 마스크 동작 스트로크:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±육?

l최대 초점 두께:400mm（SU8접착제, 사용자가 검사 조건 제공)

l광원 평행성:3?

l노출 에너지 밀도:>25mW/cm2,조명면 온도<35?C

l단일 레이어 노출 원클릭 완료

l공기부양을 채택하다.+세 발을 평평하게 하다

l수은 램프 전력:350W(직류,수입）

3. 폼 팩터 크기:1400mm(길이)?900mm(폭)?1500mm(높음)

4. 구성

（1) 노출 헤드

l냉광 타원경

l350W수입 직류 고압 수은등(독일 오스란)

lXYZ수은등 조절대

l냉각팬

l옵티컬 시스템: 고정 광선, 가변 광선, 셔터, 직경 렌즈1, 직경 렌즈2, 파리 눈 렌즈 그룹 (79개 렌즈),i선 필터, 필드 렌즈, 냉광 반사 렌즈1, 반사경2

（2) 가공소재 테이블 조준

l포토레지스트 베이스

l작업장 전환대 (실린더)

l마스크 견본 전체 운동대

l마스크 견본 상대 운동대

l회전대

l스플라인 메커니즘,3 시 자동 완성

l시제품 초점 조절 기구, 모터 자동 조절

l기판 추출식 상하 기구

l승편대4개:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(사용자 요구 사항에 따라 증감 가능)

l마스크 클립4개:2.5인치,3인치,4인치,5인치 (사용자 요구 사항에 따라 증감 가능)

l견본 추출식 상하 기구

（3) 현미경 조준

l광원, 전원 공급 장치

l두 눈, 두 시야가 현미경 주체를 조준하다.

l안경3예 (10배,16배,20배, 총6개)

l물경3예 (4배,10배,20배, 총6개)

lCCD시스템 조준,22인치 평면 패널 모니터

（4) 전기 제어 시스템

l수은등 트리거 전원(350W직류 수은등)

l단편기 제어 시스템

l제어판

l컨트롤 캐비닛 테이블

（5) 공기압 시스템

l실린더, 전자기 밸브, 감압 밸브, 공기압 스위치 등

l솔레노이드 밸브 구동

l공기계

（6) 추가 첨부 파일

l진공 펌프 한 대

l공압기 한 대

l부대 인터페이스 파이프

（7) 기술 자료

l사용 수리 설명서

l제품 검사 합격증