초고해상도 쇼트키장 발사 스캐닝 전자현미경 SU8700
빠른 데이터 수집과 데이터 처리 기술의 발전에 따라 전자 현미경은 데이터의 질을 중시할 뿐만 아니라 그 수집 과정도 중시하는 시대에 들어섰다.SU8700은 새로운 시대를 향한 SEM으로서 히타치 선글라스의 일관된 높은 이미지 품질과 높은 안정성에 데이터 자동 획득 등 높은 통화량을 포함한 기능을 추가했다.
- *
- 장치 사진에는 옵션이 포함되어 있습니다.
-
특징
-
사양
특징
뛰어난 해상도 및 분석 능력
히타치의 고휘도 쇼트키장 발사 전자총은 초고해상도 관찰과 빠른 마이크로빔 분석을 동시에 지원할 수 있다.시료대를 사용하여 속도를 줄이지 않고도 0.1kV의 저가속 전압만으로 고해상도 관찰을 할 수 있어 더 많은 응용 장면에 적응할 수 있다.이와 동시에 여러가지 신형탐측기와 기타 풍부한 선택항목을 배합하여 더욱 많은 관측수요를 만족시킬수 있다.
고급 자동화 기능*
EM Flow Creator를 사용하면 고객이 연속적인 이미지 수집을 위한 자동화된 워크플로우를 만들 수 있습니다.EM Flow Creator는 다양한 SEM 기능을 확대 배율 설정, 시료 위치 이동, 초점 거리 및 명암 대비 조절 등 그래픽화된 모듈로 정의합니다.사용자는 간단한 마우스 드래그를 통해 모듈을 논리적으로 순서대로 작업 프로그램을 구성할 수 있습니다.디버깅과 확인을 거친 후, 이 프로그램은 호출할 때마다 자동으로 고품질의 재현성이 좋은 이미지 데이터를 얻을 수 있다.
강력한 디스플레이 및 상호 작용
기본 듀얼 모니터를 지원하여 유연하고 효율적인 운영 공간을 제공합니다.
6채널은 동시에 표시와 보존을 실현하여 빠른 다중신호관측과 채집을 실현하여 더욱 많은 정보를 가져다준다.
단일 스캔으로 최대 40960 x 30720의 초고화소 지원*
대형 및 고화소 이미징
왼쪽 그림은 시야가 약 120 μm이며 단일 스캔으로 수집 된 쥐의 초박형 슬라이스 샘플 고화소 이미지입니다.오른쪽 그림에서 노란색 사각형 영역 이미지를 간단한 숫자로 확대합니다.오른쪽 그림은 왼쪽 그림의 숫자를 20배 확대한 것과 같으며, 여전히 신경세포의 세포기 등의 내부 구조를 선명하게 확인할 수 있다
SU8600 및 SU8700 단일 스캔 픽셀은 최대 40960 x 30720.*
* 옵션
사양
전자 광학 시스템 | 2차 전자 해상도 | 0.8 nm@15 kV |
---|---|---|
0.9 nm@1 kV | ||
배율 확대 | 20 ~ 2,000,000 x | |
전자총 | 쇼트키장 발사 전자원 | |
가속전압 | 0.1 ~ 30 kV | |
착륙 전압*1,*3 | 0.01 ~ 7 kV | |
최대 번들 흐름 | 200 nA | |
탐지기 | 표준 탐지기 | 위쪽 탐지기(UD) |
하단 탐지기(LD) | ||
프로브 옵션*3 | 경통내배산란전자탐지기(MD) | |
반도체 백산란 전자 탐지기(PD-BSE) | ||
고감도 저진공 탐지기(UVD) | ||
스캔 투과 탐지기(STEM) | ||
첨부 옵션*2 | 엑스선 분광기(EDS) | |
전자배산사연사탐지기(EBSD) | ||
견본대 | 모터 구동축 | 5축 모터 구동 |
범위 이동 | ||
X | 0 ~ 110 mm | |
Y | 0 ~ 110 mm | |
Z | 1.5 ~ 40 mm | |
T | -5 ~ 70° | |
R | 360° | |
견본실 | 샘플 크기 | 최대 지름: 150mm*4 |
저진공 모드 | 진공 범위 | 5 ~ 300 Pa |
- *1
- 감속 모드에서
- *2
- 구성 가능한 탐지기
- *3
- 옵션
- *4
- 더 큰 샘플 사이즈 수요가 있으면 저희에게 연락 주세요.
관련 제품 분류
- 초점 이온 빔 시스템(FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM 샘플 전처리 장치