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제품 상세 정보
초고해상도 발사 스캐닝 전자 현미경 SU8600 시리즈
빠른 데이터 수집과 데이터 처리 기술의 발전에 따라 전자 현미경은 데이터의 질뿐만 아니라 그 수집 과정도 중시하는 시대에 들어섰다.SU8600 시리즈는 Regulus8200 시리즈의 고품질 이미지, 빔 스트림 분석 및 장시간 안정적으로 작동하는 냉장 영상 기술을 계승하는 동시에 높은 통화량, 자동 데이터 획득 능력을 크게 향상시켰다.
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- 장치 사진에는 옵션이 있습니다.
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특징
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사양
특징
특징
초고해상도 이미징
히타치의 고광도 전자원은 초저착륙 전압에서도 초고해상도 이미지를 얻을 수 있도록 보장한다.
0.8 kV 전압 조건에서 RHO형 비석의 실례를 관찰하다.왼쪽 그림은 입자 전체의 형상이고, 오른쪽 그림은 이미지를 확대하여 입자 표면의 미세한 계단 구조가 뚜렷하게 보인다.저전압 관찰은 전자빔의 손상을 줄이고 표면 형상 정보를 얻는 데 비교적 효과적이다.
샘플 제공: 일본 공업기술종합연구소 우에무라 가타씨
안감 높은 저가속 전압 배산란 이미지
3D NAND 단면 관찰;
저가속 전압 조건에서 배산란 전자 신호는 산화규소층과 질화규소층의 라이닝 차이를 뚜렷하게 나타낼 수 있다.
3D NAND 단면 관찰(가속전압: 1.5kV)
빠른 BSE 이미지: 새로운 플래시 백산란 전자 탐지기(OCD)*
새로운 OCD 탐지기를 사용했기 때문에 스캔 시간이 1초 미만이더라도 Fin-FET의 선명한 심층 구조 이미지를 여전히 관찰 할 수 있습니다.
5나노 공정 SRAM의 내부 구조 관찰(가속전압: 30kV, 스캔 시간 <1초)
고급 자동화 기능 *
EM Flow Creator를 사용하면 고객이 연속적인 이미지 수집을 위한 자동화된 워크플로우를 만들 수 있습니다.EM Flow Creator는 다양한 SEM 기능을 확대 배율 설정, 시료 위치 이동, 초점 거리 및 명암 대비 조절 등 그래픽화된 모듈로 정의합니다.사용자는 간단한 마우스 드래그를 통해 모듈을 논리적으로 순서대로 작업 프로그램을 구성할 수 있습니다.디버깅과 확인을 거친 후, 이 프로그램은 호출할 때마다 자동으로 고품질의 재현성이 좋은 이미지 데이터를 얻을 수 있다.
유연한 사용자 인터페이스
기본 듀얼 모니터를 지원하여 유연하고 효율적인 운영 공간을 제공합니다.6채널은 동시에 표시하고 보존하여 빠른 다신호 관측과 채집을 실현한다.
1,2,4 또는 6 채널 신호는 동일한 모니터에 동시에 표시될 수 있으며 전환 가능한 내용은 SEM 각 탐지기와 샘플실 카메라 및 네비게이션 카메라입니다.2개의 모니터를 사용하여 작업 공간을 확장하고 사용자 인터페이스를 사용자 정의하여 생산성을 향상시킬 수 있습니다.
사양
| 모델 | SU8600 시리즈 | |
|---|---|---|
| 전자 광학 시스템 | 2차 전자상 해상도 | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| 배율 확대 | 20 to 2,000,000 x | |
| 전자총 | 냉장 발사 전자원, 유연한 반짝임 기능 지원, 양극 구이 시스템 포함. | |
| 가속전압 | 0.5 to 30 kV | |
| 착륙 전압 | 0.01 to 20 kV | |
| 탐지기 | (부분은 옵션) | 위쪽 탐지기(UD) |
| UD ExB 에너지 필터(SE/BSE 신호 혼합 기능 포함) | ||
| 하단 탐지기(LD) | ||
| 상단 탐지기(TD) | ||
| TD 에너지 필터 | ||
| 렌즈 내등 산란 전자 탐지기(IMD) | ||
| 반도체 백산란 전자 탐지기(PD-BSED) | ||
| 신형 플래시 체형 백산란 전자 탐지기(OCD) | ||
| 음극 형광 탐지기(CLD) | ||
| 스캔 투과 탐지기(STEM Detector) | ||
| 첨부 파일 | (부분은 옵션) | 내비게이션 카메라, 샘플실 카메라, 엑스선 분광기(EDS), 백산란 전자연사 탐지기(EBSD) |
| 소프트웨어 | (부분은 옵션) | EM Flow Creater, HD Capture(최대 40960×30720픽셀) |
| 견본대 | 모터 구동축 | 5축 모터 구동(X/Y/R/Z/T) |
| 모터 구동축 | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| 견본실 | 샘플 크기 | 최대 지름: 150mm |
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- 감속 모드에서
관련 제품 분류
- 초점 이온 빔 시스템(FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM 샘플 전처리 장치
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